お気軽にお問合せください。
Tel. 0794-83-3080
半導体事業・クリーンルーム
弊社は2022年3月に新事業として、クリーンルームを設置いたしました。
スペック・使用機器
| クリーンルーム寸法 | 床面積46.7㎡ 奥行3870ｍｍ×幅13500ｍｍ |
| 出入口寸法/パスボックス寸法 | 最小 高さ1800㎜×幅800㎜(エアーシャーワールーム)/450㎜×450㎜(パスボックス) |
| クリーン度 | ISO14644-1規格 クラス6まで対応 / 米国連邦規格 1000 |
| エアシャワー | 神和テック社製 |
| 卓上型超音波洗浄機 | ヤマト科学社製 CPX5000H-J |
| 器具乾燥機 | DG851 |
クリーン度別クリーンルーム使用用途
対応可能業種
左表の業種で扱われる機械の組み立てに対応可能。
CLASS6～CLASS1まで
対応可能サイズ
450ｍｍ*450ｍｍまで(搬出口寸法)
クリーンルーム写真
真空環境仕様ギヤボックス
サムスン社向け蒸着装置搬送ラインにて使用のギヤボックス。
3月に試作機2台を作成し、4月からスタート。
2020年4月～7月、29種の仕様を約480台を納品。
基本設計、加工(ギヤボックスアルミケース)、組立、出荷までを行いました。
ウエハメタルカセット
日本半導体メーカー向けウエハの搬送用メタルカセット。
既存品の製作困難とのことで、既存品の寸法を拾い、図面製作～加工、組立を行いました。