






| クリーンルーム寸法 | 床面積46.7㎡ 奥行3870mm×幅13500mm×天井高さ2100mm |
| 出入口寸法/パスボックス寸法 | 最小 高さ1800×幅800(エアーシャワールーム)/450㎜×450㎜(パスボックス) |
| クリーン度 | ISO146644-1規格 class6対応 / 米国連邦規格 1000 |
| エアコン | 三菱電機社製 PFHV-P140DMJ1 |
| エアシャワー | 神和テック社製 外形寸法1400W*2100H*1000D |
| 循環ファン | 三菱電機社製 JF-210TA |

対応可能業種
左表の業種で扱われる機械の組み立てに対応。
CLASS1~CLASS6まで。
対応可能サイズ
450mm✕450mmまで(搬出口寸法)